エキシマシステム
GEWのエキシマランプシステム(ExciRayランプ)は、誘電体バリア放電(DBD)ランプを使用しており、通常172 nmで準単色真空紫外線を生成します。この放射は、一般的に表面コーティングのマット化、接着性向上のための表面張力の改質、および半導体や医療産業の表面洗浄に使用されています。
当社最新のエキシマシステムであるExciRayについての詳細は、以下をご覧ください。
GEWのエキシマランプは、多様なアプリケーションに対応した真空紫外放射を生成し、最大2.55m幅の機械にシームレスに組み込むことができます。
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